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ZrW2O8薄膜的制备及热膨胀性质

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采用溶胶-凝胶技术结合退火工艺在Pt（111）/Ti/SiO2/Si（100）基片上制备ZrW2O8薄膜，并研究了退火温度

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关键字：ZrW2O8 薄膜制备

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