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TiAlN基薄膜的研究进展
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综述了TiAIN纳米多层膜、TiAIN纳米复合薄膜的研究进展，主要介绍了3种薄膜的硬度、摩擦磨损等性能，并对影响其性能的因素进行了分析，提出了薄膜制备所存在的问题，最后对其今后的发展做了展…
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