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中阶梯光栅铝膜的纳米压入测试

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对槽线密度为79线·mm-1的中阶梯光栅铝膜进行了深度3um的纳米压痕试验，并采用有限元模拟结合正交分析的方法对其进行计算和分析，得到初步优化的参数组合，最后通过迭代优化求解最优组合。

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