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低温热处理对Graphit-iC类石墨碳膜组织结构及耐磨性的影响

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应用拉曼光谱等测试方法分析了不同热处理温度对PVD技术制备的Graphit-iC类石墨碳膜涂层的组织结构,显微硬度、结合强度和磨损率的影响规律。

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关键字:低温 热处理 Graphit-iC