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主动减振系统技术在纳米加工设备上的应用

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摘要:通过对以光刻机为代表的纳米加工设备主动减振系统技术的介绍,阐述了主动减振系统技术在纳米加工设备上的应用及发展方向。

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关键字:主动 减振 系统