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SiC的激光表面微造型工艺研究
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采用灯泵浦YAG-T50系列激光打标机SiC进行了端面螺旋槽激光造型加工试验。采用PS50型非接触式三维表面形貌仪测量了槽深和槽内表面粗糙度。
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